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Beweglichkeit von Wasserstoff in amorphen Si₃N₄-Schichten

Schmidt, H.; Gruber, W.; Borchardt, G.; Bruns, M.; Rudolphi, M.; Baumann, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230054034
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Frühjahrstagung des Arbeitskreises Festkörperphysik (AKF) der DPG, Fachverband Dünne Schichten (DS), Dresden, 24.-28. März 2003 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd. 38(2003) DS 24.52 Poster
URLs Abstract (HTML)
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