Beweglichkeit von Wasserstoff in amorphen Si₃N₄-Schichten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054034 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Frühjahrstagung des Arbeitskreises Festkörperphysik (AKF) der DPG, Fachverband Dünne Schichten (DS), Dresden, 24.-28. März 2003 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd. 38(2003) DS 24.52 Poster |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |