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Kurze Übersicht über die Nicht-Silizium-Mikrosystemtechnik

Hanemann, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230054129
HGF-Programm 41.08.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Universität Regensburg, 6.und 7.Februar 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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