Integrierte Sensorik für ein Modulsystem der Mikroverfahrenstechnik

Rinke, G.; Dietrich, T.; Brinkmann, U.; Müller, A.; Grosser, V.; Hillmann, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230054209
HGF-Programm	41.07.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Sensor 2003 : 11.Internat.Messe mit Kongress, Nürnberg, 13.-15.Mai 2003