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Integrierte Sensorik für ein Modulsystem der Mikroverfahrenstechnik

Rinke, G.; Dietrich, T.; Brinkmann, U.; Müller, A.; Grosser, V.; Hillmann, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230054209
HGF-Programm 41.07.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Sensor 2003 : 11.Internat.Messe mit Kongress, Nürnberg, 13.-15.Mai 2003
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