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Hot embossing - a way to fabricate high-quality micro-optical components and benches

Heckele, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230054382
HGF-Programm 41.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Polymicro Workshop on Micro Optics : Benefits for Industry, Karlsruhe, February 27-28, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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