Hot embossing - a way to fabricate high-quality micro-optical components and benches
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054382 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Polymicro Workshop on Micro Optics : Benefits for Industry, Karlsruhe, February 27-28, 2003 |