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Hot embossing - a way to fabricate high-quality micro-optical components and benches

Heckele, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230054382
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Polymicro Workshop on Micro Optics : Benefits for Industry, Karlsruhe, February 27-28, 2003
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