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VS8 pumping performance of different cryopumps in the molecular flow regime by Monte Carlo analysis

Day, C.; Hauer, V.; Boissin, J.C.; Haas, H.; Mack, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230054427
HGF-Programm 31.07.01; LK 01
Erscheinungsvermerk European Vacuum Congress, Berlin, June 23-26, 2003
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