VS8 pumping performance of different cryopumps in the molecular flow regime by Monte Carlo analysis
Day, C.
; Hauer, V.; Boissin, J. C.; Haas, H.; Mack, A.
; Hauer, V.; Boissin, J. C.; Haas, H.; Mack, A.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054427 |
| HGF-Programm | 31.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | European Vacuum Congress, Berlin, June 23-26, 2003 |