Polymer microfabrication
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054462 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Fondation Suisse pour la Recherche en Microtechnique, Neuchatel, CH, 30.März 2003 |