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Polymer microfabrication

Heckele, M.; Hanemann, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230054462
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Fondation Suisse pour la Recherche en Microtechnique, Neuchatel, CH, 30.März 2003
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