Characterization of Si-C-N films prepared by means of combined RF magnetron sputtering and ion beam synthesis
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054573 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 30th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2003), San Diego, Calif., April 28 - May 2, 2003 |