Characterization of Si-C-N films prepared by means of combined RF magnetron sputtering and ion beam synthesis

Bruns, M.; Lutz, H.; Rudolphi, M.; Baumann, H.; Schmidt, H.; Borchardt, G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230054573
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	30th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2003), San Diego, Calif., April 28 - May 2, 2003