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Characterization of Si-C-N films prepared by means of combined RF magnetron sputtering and ion beam synthesis

Bruns, M.; Lutz, H.; Rudolphi, M.; Baumann, H.; Schmidt, H.; Borchardt, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230054573
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 30th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2003), San Diego, Calif., April 28 - May 2, 2003
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