| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054635 |
| HGF-Programm | 41.98.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Forum Microtechnology, Hannover Messe, 19.-24.April 2003 |