Fabrication of ceramic microcomponents using deep X-ray lithography

Wiche, G.; Goettert, J.; Hanemann, T.; Kumar, C.; Mueller, C.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230054836
HGF-Programm	41.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003