KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Top down - micro meets nano

Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230054841
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.on Nano-Micro-Interfaces, Berlin, May 26-28, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page