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Top down - micro meets nano

Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230054841
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.on Nano-Micro-Interfaces, Berlin, May 26-28, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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