| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054842 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 7th European Mechanics and Materials Conf.(EMMC7), Frejus, F, May 20, 2003 |