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Aufbau von Verbindungstechnik für mikrooptische Abstandssensoren (Modulares Fertigungskonzept)

Hollenbach, U.; Wallrabe, U.; Mohr, J.; Oka, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230054850
HGF-Programm 41.08.01; LK 01
Erscheinungsvermerk ITG Workshop 'Photonische Aufbau und Verbindungstechnik', Wernigerode, 15.-16.Mai 2003
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