Aufbau von Verbindungstechnik für mikrooptische Abstandssensoren (Modulares Fertigungskonzept)

Hollenbach, U.; Wallrabe, U.; Mohr, J.; Oka, T.

Seitenaufrufe: 31
seit 28.04.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230054850
HGF-Programm	41.08.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	ITG Workshop 'Photonische Aufbau und Verbindungstechnik', Wernigerode, 15.-16.Mai 2003