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Monitoring of the nickel plating by control chart techniques for the fabrication of LIGA mold inserts

Bade, K.; Köhler, U.; Krevet, B.; Matthis, B.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230054863
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Optimised Electrodeposition for Modern Applications : Pulse-Plating and Microsystems ; EAST-Forum, Lyngby, DK, April 10-12, 2003
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