Microoptics made by LIGA technology

Mohr, J.; Hollenbach, U.; Last, A.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230054872
HGF-Programm	41.08.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003