Investigation of development process of high aspect ratio microstructures using tilted SR exposure

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Meyer, P.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230054891
HGF-Programm	51.04.04 (Vor POF, LK 02)
Erscheinungsvermerk	5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003