| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054949 |
| HGF-Programm | 41.08.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Danish Conf.on Industrial Microtechnology, Copenhagen, DK, May 28, 2003 |