| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054968 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM), Berlin, 27.Juni 2003 |