Bonding of LIGA PMMA microstructures by UV irradiation and low temperature welding

Henzi, P.; Truckenmüller, R.; Herrmann, D.; Achenbach, S.; Wallrabe, U.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230054975
HGF-Programm	41.09.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003