| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054977 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Workshop 'Mikrosystemtechnik - die Schlüsseltechnologie des 21.Jahrhunderts', Deutsches Industrieforum für Technologie (DIF), Würzburg, 15.-16.Mai 2003 |