Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230054977 |
HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Workshop 'Mikrosystemtechnik - die Schlüsseltechnologie des 21.Jahrhunderts', Deutsches Industrieforum für Technologie (DIF), Würzburg, 15.-16.Mai 2003 |