| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054978 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (Vor POF, LK 02) |
| Erscheinungsvermerk | 4th Nat.Conf.'Semiconductor Microelectronics', Tsakhcadzor, Armenia, May 29-31, 2003 |