Reliable fabrication of large Ni mold inserts for micro fluidic and micro optical applications using UVL techniques with SU-8 on 6 inch Si-wafers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230054994 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Transducers '03 : The 12th Internat.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Boston, Mass., June 8-12, 2003 |