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Reliable fabrication of large Ni mold inserts for micro fluidic and micro optical applications using UVL techniques with SU-8 on 6 inch Si-wafers

Guttmann, M.; Hein, H.; Wilson, S.; Chung, S.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230054994
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Transducers '03 : The 12th Internat.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Boston, Mass., June 8-12, 2003
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