| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230055379 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Symp.on Optical Science and Technology, SPIE's 48th Annual Meeting, San Diego, Calif., August 3-8, 2003 |