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X-ray beamlines at the microfabrication laboratory at ANKA

Pantenburg, F.J.; Achenbach, S.; Boerner, M.; Mohr, J.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230055470
HGF-Programm 51.04.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2003), San Francisco, Calif., August 25-29, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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