X-ray beamlines at the microfabrication laboratory at ANKA

Pantenburg, F. J.; Achenbach, S.; Boerner, M.; Mohr, J.; Saile, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230055470
HGF-Programm	51.04.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	8th Internat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2003), San Francisco, Calif., August 25-29, 2003