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X-ray beamlines at the microfabrication laboratory at ANKA

Pantenburg, F.J.; Achenbach, S.; Boerner, M.; Mohr, J.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230055470
HGF-Programm 51.04.04; LK 01
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2003), San Francisco, Calif., August 25-29, 2003
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