Focusing properties of X-ray polymer refractive lenses from SU-8 resist layer

Snigirev, A.; Snigireva, I.; Dimichel, M.; Drakopoulos, M.; Kuznetsov, S.; Nazmov, V.; Reznikova, E.; Mohr, J.; Saile, V.; Grigoriev, M.; Shabelnikov, L.

Focusing properties of X-ray polymer refractive lenses from SU-8 resist layer

Snigirev, A.; Snigireva, I.; Dimichel, M.; Drakopoulos, M.; Kuznetsov, S.; Nazmov, V.; Reznikova, E.; Mohr, J.; Saile, V.; Grigoriev, M.; Shabelnikov, L.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230055471
HGF-Programm	51.04.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Internat.Symp.on Optical Science and Technology, SPIE's 48th Annual Meeting, San Diego, Calif., August 3-8, 2003

Repository KITopen

Focusing properties of X-ray polymer refractive lenses from SU-8 resist layer