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Focusing properties of X-ray polymer refractive lenses from SU-8 resist layer

Snigirev, A.; Snigireva, I.; Dimichel, M.; Drakopoulos, M.; Kuznetsov, S.; Nazmov, V.; Reznikova, E.; Mohr, J.; Saile, V.; Grigoriev, M.; Shabelnikov, L.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230055471
HGF-Programm 51.04.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Internat.Symp.on Optical Science and Technology, SPIE's 48th Annual Meeting, San Diego, Calif., August 3-8, 2003
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