| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230055552 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | COMS 2003, 8th Commercialization of Micro/Nano Systems Conference, Amsterdam, NL, September 8-11, 2003 |