Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Mikrotechnologie (MIKRO) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230055552 |
HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | COMS 2003, 8th Commercialization of Micro/Nano Systems Conference, Amsterdam, NL, September 8-11, 2003 |