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Accuracy requirements in micro system technologies

Schulz, M.; Hausselt, J.; Jacobi, O.; Piotter, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230055618
HGF-Programm 41.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Metrology Methods for Ultraprecision and Microtechnology, Traunreut, September 8-9, 2003
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