Accuracy requirements in micro system technologies
Schulz, M.
; Hausselt, J.; Jacobi, O.; Piotter, V.
; Hausselt, J.; Jacobi, O.; Piotter, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230055618 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Metrology Methods for Ultraprecision and Microtechnology, Traunreut, September 8-9, 2003 |