Isotopenreine Si₃N₄-Mehrschichtsysteme zur Analytik von Diffusionsprozessen

Schmidt, H.; Borchardt, G.; Rudolphi, M.; Baumann, H.; Bruns, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230055624
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	12.Tagung Festkörperanalytik, Wien, A, September 22-24, 2003