Mikroanalytische Charakterisierung von dünnen Si-C-N-Schichten hergestellt durch kombinierten Einsatz von HF-Magnetronsputtern und Ionenstrahlsynthese
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230055627 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 12.Tagung Festkörperanalytik, Wien, A, September 22-24, 2003 |