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Mikroanalytische Charakterisierung von dünnen Si-C-N-Schichten hergestellt durch kombinierten Einsatz von HF-Magnetronsputtern und Ionenstrahlsynthese

Rudolphi, M.; Baumann, H.; Bruns, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230055627
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 12.Tagung Festkörperanalytik, Wien, A, September 22-24, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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