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Mikroanalytische Charakterisierung von dünnen Si-C-N-Schichten hergestellt durch kombinierten Einsatz von HF-Magnetronsputtern und Ionenstrahlsynthese

Rudolphi, M.; Baumann, H.; Bruns, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230055627
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 12.Tagung Festkörperanalytik, Wien, A, September 22-24, 2003
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