| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230055996 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Ecole Nationale Superieure d'Arts et Metiers (ENSAM), Metz, F, 14.Oktober 2003 |