MEMS für raue Einsatzbedingungen, neue Materialien und Technologien
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230056192 |
| HGF-Programm | 41.00.00 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Expertenkreis 'Mikrosystemtechnik für zukünftige Antriebe', MTU Aeroengines, München, 6.November 2003 |