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MEMS für raue Einsatzbedingungen, neue Materialien und Technologien

Bley, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230056192
HGF-Programm 41.00.00; LK 01
Erscheinungsvermerk Expertenkreis 'Mikrosystemtechnik für zukünftige Antriebe', MTU Aeroengines, München, 6.November 2003
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