KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Physical-chemical investigation and modeling of netlike polymerization of negative SU-8 resist during X-ray lithography processes

Reznikova, E.; Nazmov, V.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230056219
HGF-Programm 55.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Russian Conf.'Application of X-Ray, Synchrotron, Neutron and Electron Radiation for Investigation of Materials' (RSNE'IV), Moskva, Russia, November 17-22, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page