Physical-chemical investigation and modeling of netlike polymerization of negative SU-8 resist during X-ray lithography processes
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230056219 |
| HGF-Programm | 55.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Russian Conf.'Application of X-Ray, Synchrotron, Neutron and Electron Radiation for Investigation of Materials' (RSNE'IV), Moskva, Russia, November 17-22, 2003 |