Processing issues and material properties in Ni and Ni-Fe plating in high aspect ratio micro structure technology (LIGA)
Bade, K.
; Janssen, A.; Schulz, J.
; Janssen, A.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230056222 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Fall Meeting 2003 of the Materials Research Society, Boston, Mass., December 1- 5, 2003 |