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Processing issues and material properties in Ni and Ni-Fe plating in high aspect ratio micro structure technology (LIGA)

Bade, K.; Janssen, A.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230056222
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Fall Meeting 2003 of the Materials Research Society, Boston, Mass., December 1- 5, 2003
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