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LIGA and AMANDA technologies for micro optical and micro fluidic components. Recent achievements and cooperation strategies

Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230056263
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micromachine Exhibition, Tokyo, J, November 12, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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