LIGA and AMANDA technologies for micro optical and micro fluidic components. Recent achievements and cooperation strategies
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230056263 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micromachine Exhibition, Tokyo, J, November 12, 2003 |