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LIGA and AMANDA technologies for micro optical and micro fluidic components. Recent achievements and cooperation strategies

Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230056263
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Micromachine Exhibition, Tokyo, J, November 12, 2003
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