High vertical aspect ratio LIGA microwave 3-dB coupler

Kachayev, A. A.; Achenbach, S.; Klymyshyn, D. M.; Saile, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230056268
HGF-Programm	55.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Badawy, W. [Hrsg.] The 2003 Internat.Conf.on MEMS, NANO, and Smart Systems, Banff, CDN, July 20-23, 2003 New York, N.Y. : IEEE, 2003