Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230056268 |
HGF-Programm | 55.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Badawy, W. [Hrsg.] The 2003 Internat.Conf.on MEMS, NANO, and Smart Systems, Banff, CDN, July 20-23, 2003 New York, N.Y. : IEEE, 2003 |