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High vertical aspect ratio LIGA microwave 3-dB coupler

Kachayev, A.A.; Achenbach, S.; Klymyshyn, D.M.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230056268
HGF-Programm 55.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Badawy, W. [Hrsg.] The 2003 Internat.Conf.on MEMS, NANO, and Smart Systems, Banff, CDN, July 20-23, 2003 New York, N.Y. : IEEE, 2003
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