Minaturized LIGA Fourier transformation spectrometer

Solf, C.; Mohr, J.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230056276
HGF-Programm	41.08.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	2nd IEEE Internat.Conf.on Sensors, Toronto, CDN, October 22-24, 2003 Book of Abstracts