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Minaturized LIGA Fourier transformation spectrometer

Solf, C.; Mohr, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230056276
HGF-Programm 41.08.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2nd IEEE Internat.Conf.on Sensors, Toronto, CDN, October 22-24, 2003 Book of Abstracts
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