KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Combined RF magnetron sputtering and ion implantation for the synthesis of Si-C-N thin films

Bruns, M.; Geckle, U.; Nold, E.; Rudolphi, M.; Baumann, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230056366
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 50th Internat.Symp.of the American Vacuum Society (AVS), Baltimore, Md., November 3-7, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page