Combined RF magnetron sputtering and ion implantation for the synthesis of Si-C-N thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230056366 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 50th Internat.Symp.of the American Vacuum Society (AVS), Baltimore, Md., November 3-7, 2003 |