What is LIGA and how it is used industrially?
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230056401 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Australian Synchrotron Users Workshop and 1st ISAC Meeting, Melbourne, AUS, January 28 - February 3, 2003 |