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What is LIGA and how it is used industrially?

Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230056401
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Australian Synchrotron Users Workshop and 1st ISAC Meeting, Melbourne, AUS, January 28 - February 3, 2003
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