Frequency effects on AC-induced damage in Cu interconnects

Park, Y. B.; Mönig, R.; Arzt, E.; Volkert, C. A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230056766
HGF-Programm	41.03.03 (POF I, LK 01) Werkstoffprüfung und Mikrobereichsanal.
Erscheinungsvermerk	Fall Meeting 2003 of the Materials Research Society, Boston, Mass., December 1-5, 2003