Frequency effects on AC-induced damage in Cu interconnects
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230056766 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (POF I, LK 01) Werkstoffprüfung und Mikrobereichsanal. |
| Erscheinungsvermerk | Fall Meeting 2003 of the Materials Research Society, Boston, Mass., December 1-5, 2003 |