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Frequency effects on AC-induced damage in Cu interconnects

Park, Y.B.; Mönig, R.; Arzt, E.; Volkert, C.A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230056766
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Fall Meeting 2003 of the Materials Research Society, Boston, Mass., December 1-5, 2003
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