| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230056829 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (POF I, LK 01) Werkstoffprüfung und Mikrobereichsanal. |
| Erscheinungsvermerk | Workshop 'FIB in der Mikro- und Nanotechnologie', Karlsruhe, 25.September 2003 |