Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230056829 |
HGF-Programm | 41.03.03 (POF I, LK 01) Werkstoffprüfung und Mikrobereichsanal. |
Erscheinungsvermerk | Workshop 'FIB in der Mikro- und Nanotechnologie', Karlsruhe, 25.September 2003 |