Focused ion beams (FIB) in der Mikro- und Nanotechnologie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230057571 |
| HGF-Programm | 42.02.03 (POF I, LK 01) Nanostrukturierte Festkörper |
| Erscheinungsvermerk | 10.FIF-Workshop für Mitglieder, Karlsruhe, 25.-26.März 2004 |