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Focused ion beams (FIB) in der Mikro- und Nanotechnologie

Volkert, C.A.; Schwaiger, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230057571
HGF-Programm 42.02.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 10.FIF-Workshop für Mitglieder, Karlsruhe, 25.-26.März 2004
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