Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230057767 |
HGF-Programm | 41.06.03 (POF I, LK 01) Leitung ZWM |
Erscheinungsvermerk | Mikrosystemtechnik : Vom Mikrobauteil zur technischen Problemlösung - Fertigen, Montieren, Prüfen, DIF-Konf., Würzburg, 24.-25.Mai 2004 |