| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230057767 |
| HGF-Programm | 41.06.03 (POF I, LK 01) Leitung ZWM |
| Erscheinungsvermerk | Mikrosystemtechnik : Vom Mikrobauteil zur technischen Problemlösung - Fertigen, Montieren, Prüfen, DIF-Konf., Würzburg, 24.-25.Mai 2004 |