| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230057787 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (POF I, LK 01) Metallische Mikrostrukturapparate |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Institut für Luft- und Klimatechnik, Dresden, 27.Mai 2004 |