Micro process engineering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230057860 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (POF I, LK 01) Auslegungsgrundl.f.Mikrostrukturapp. |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Stevens Institute of Technology, Hoboken, N.Y., 22. Juni 2004 |