Microstructured heaters for thermolysis of carbamato silanes
Rüdinger, C.; Weis, J.; Frey, T.; Rösch, L.; Kraut, M.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230057861 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (POF I, LK 01) Mikrostrukturapparate |
| Erscheinungsvermerk | 37th Silicon Symposium,Pittsburgh, Pa., May 20-22, 2004 |