KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Microstructured heaters for thermolysis of carbamato silanes

Rüdinger, C.; Weis, J.; Frey, T.; Rösch, L.; Kraut, M.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230057861
HGF-Programm 41.03.02 (POF I, LK 01) Mikrostrukturapparate
Erscheinungsvermerk 37th Silicon Symposium,Pittsburgh, Pa., May 20-22, 2004
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page