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Microstructured heaters for thermolysis of carbamato silanes

Rüdinger, C.; Weis, J.; Frey, T.; Rösch, L.; Kraut, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230057861
HGF-Programm 41.03.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 37th Silicon Symposium,Pittsburgh, Pa., May 20-22, 2004
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