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Microstructuring preceramic polymers by application of UV- and deep X ray lithography

Schulz, M.; Heldele, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230057894
HGF-Programm 41.02.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, F, May 24-28, 2004
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