Microstructuring preceramic polymers by application of UV- and deep X ray lithography
Schulz, M.
; Heldele, R.
; Heldele, R.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230057894 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (POF I, LK 01) Pulvermetallurgie und Keramik |
| Erscheinungsvermerk | Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, F, May 24-28, 2004 |