KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Can we afford sub 100nm lithography?

Behringer, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230057901
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk SEMICON Europe, München, April 20-22, 2004
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page