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Von der Mikrokomponente zum System. Aufbau hybrider Mikrosysteme am IPE

Blank, T. ORCID iD icon; Gemmeke, H.; Kühner, T.; Schlote-Holubek, K.; Wüstling, S. ORCID iD icon


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230057970
HGF-Programm 41.08.02 (POF I, LK 01) Prozessanalytik
Erscheinungsvermerk 10.GMM Workshop 'Methoden und Werkzeuge für den Entwurf von Mikrosystemen', Cottbus, 20.-22.Oktober 2004
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