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Novel design and prototyping of a micro optical distance sensor considering a distributed fabrication

Hollenbach, U.; Mohr, J.; Oka, T.; Wallrabe, U.; Sieber, I.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230058430
HGF-Programm 41.08.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Photonics Europe - Showcasing the Age of Light, Strasbourg, F, April 26-30, 2004
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