Novel design and prototyping of a micro optical distance sensor considering a distributed fabrication
Hollenbach, U.; Mohr, J.; Oka, T.; Wallrabe, U.; Sieber, I.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230058430 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (POF I, LK 01) Telekommunikation |
| Erscheinungsvermerk | Photonics Europe - Showcasing the Age of Light, Strasbourg, F, April 26-30, 2004 |