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Confocal microoptical distance-sensor for precision metrology

Lücke, P.; Last, A.; Mohr, J.; Ruprecht, A.; Osten, W.; Tiziani, H.J.; Lehmann, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230058432
HGF-Programm 41.08.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Photonics Europe - Showcasing the Age of Light, Strasbourg, F, April 26-30, 2004
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