Confocal microoptical distance-sensor for precision metrology

Lücke, P.; Last, A.; Mohr, J.; Ruprecht, A.; Osten, W.; Tiziani, H. J.; Lehmann, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230058432
HGF-Programm	41.08.01 (POF I, LK 01) Telekommunikation
Erscheinungsvermerk	Photonics Europe - Showcasing the Age of Light, Strasbourg, F, April 26-30, 2004