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Low cost single mode waveguide fabrication allowing passive fiber coupling using LIGA and UV flood exposure

Henzi, P.; Rabus, D.; Bade, K.; Wallrabe, U.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230058433
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Photonics Europe - Showcasing the Age of Light, Strasbourg, F, April 26-30, 2004
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